電子半導(dǎo)體生產(chǎn)車間噴涂工藝會產(chǎn)生廢氣，也稱電子噴涂廢氣。噴涂廢氣主要成份有甲苯、二甲苯等有機廢氣。噴涂廢氣揮發(fā)出來后形成VOCs，產(chǎn)生光化學(xué)反應(yīng)形成霧霾，破壞臭氧層，對人體和大氣造成危害。因此，電子噴涂廢氣處理是環(huán)評要求重點，也是電子半導(dǎo)體企業(yè)必須要達標(biāo)排放的廢氣處理要求。
　　
　　噴涂廢氣治理方法
　　
　　為了有效地對噴涂廢氣t進行處理，采用各種物理、化學(xué)以及生物等處理方法對其進行處理。目前，根據(jù)處理后廢氣的不同的形式?？梢詫⑻幚砑夹g(shù)分為銷毀法和回權(quán)法銷毀法是指將有機廢氣徹底地轉(zhuǎn)化為環(huán)境無害的物質(zhì)，如CO2和H2O，最常見的方法是燃燒法和生物法：回收法是指通過改變環(huán)境條件或者采用一定的分離方法.將有機廢氣進行分離最終實現(xiàn)有機廢氣“變廢為寶”，加工處理后，再次進入噴涂系統(tǒng)作為溶劑等重復(fù)利用。下面對常用的治理方法進行介紹。
　　
　　2.1燃燒法
　　
　　燃燒法是指在一定的催化劑或者其他條件下.使廢氣中的能夠燃燒的物質(zhì)通過一系列的化學(xué)變化，分解轉(zhuǎn)化為環(huán)境無害或者可再次回收利用的物質(zhì)。這種方法操作簡單，通常用來處理高濃度廢氣.經(jīng)過燃燒廢氣中大部分物質(zhì)能被處理，效率高但是這種方法通常需要使用一定的催化劑.常出現(xiàn)催化劑中毒現(xiàn)象
　　
　　2.2生物法
　　
　　生物凈化法，一般是利用微生物對有機廢物進行降解，使其變?yōu)榄h(huán)境無害的物質(zhì).這種方法是從微生物處理污水中借鑒來的。只要條件適宜，普遍存在的微生物能夠分解幾乎全部地有機物及無機物，因此生物凈化法在治理污染物中應(yīng)用廣泛，但是由于一般情況下，微生物新陳代謝較慢，并且所需要的環(huán)境條件苛刻.導(dǎo)致處理工序時間過長，成本較高。
　　
　　2.3吸附法
　　
　　吸附法包括化學(xué)吸附法和物理吸附法化學(xué)吸附法是指吸附劑通過與被吸附物質(zhì)通過化學(xué)鍵的連接的發(fā)生締和.從而將污染物中的一部人物質(zhì)被吸附劑吸附：物理吸附法是指吸附劑與被吸附物質(zhì)之間通過分子間作用力結(jié)合.雙方性質(zhì)都沒有發(fā)生改變.及此過程中沒有涉及化學(xué)反應(yīng)。在對VOCs的治理中.吸附法是應(yīng)用最廣泛的治理技術(shù).最常見的吸附劑就是活性炭。但是現(xiàn)在工廠里采用的活性炭吸附工藝中.沒有設(shè)置回收再利用工藝.活性炭無法回收利用.因此工藝成本較高.不符合持續(xù)發(fā)展的理念
　　
　　本文綜合傳統(tǒng)的有機廢氣處理方法，全面分析幾種經(jīng)典處理方法的優(yōu)缺點，并且針對某電子公司的廠房設(shè)備、生產(chǎn)條件以及工藝過程，再結(jié)合噴涂過程中產(chǎn)生廢氣的特點，即低濃度、大風(fēng)量.科學(xué)合理地設(shè)計了一套綜合治理工程：吸附處理一脫附再生一燃燒釋放。
　　
　　3噴涂廢氣治理工程
　　
　　3.1治理工程概述
　　

　　由于在電子產(chǎn)品噴涂工藝結(jié)束之后，產(chǎn)生的有機廢氣中夾雜著細(xì)微顆粒物以及一部分漆霧，如果這些細(xì)微顆粒物質(zhì)和漆霧與有機廢氣一起進入活性炭吸附室.會大大降低活性炭吸附有機廢氣的活性位點，降低吸附效率，因此廢氣進入吸附室之前.需要進入霧化洗滌塔.通過洗滌.除去細(xì)微顆粒和漆霧。因此，噴涂廢氣需經(jīng)過圖1中處理流程。

　　
　　3.2治理工程工藝介紹
　　
　　噴涂過程產(chǎn)生的廢氣通過圖1所示的工藝流程圖進行綜合治理，具體地：噴涂后的廢物先經(jīng)過霧化洗滌塔.霧化洗滌塔是由多層帶孔纖維層組成.并且從第一層開始以后每層單位面積內(nèi)孔數(shù)變多。當(dāng)廢氣通過洗滌塔時.廢氣中的細(xì)微顆粒、漆霧及一小部分有機物不斷與微孔發(fā)生碰撞，粘合，細(xì)微顆粒不斷細(xì)化并且一級一級不斷被粘附，最終被全部粘合。
　　

　　噴涂廢氣處理工藝和方法選擇上，要結(jié)合電子半導(dǎo)體企業(yè)實際生產(chǎn)需要，制定切實可行的噴涂廢氣處理方案。電子半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生廢氣處理方法也在不斷更新，未來噴涂廢氣處理真正實現(xiàn)零排放也將推進進程。